| 摘要 |
本发明的课题为其目的为提供一种静电吸盘，可将被吸附保持的处理对象物维持于所需的温度。;本发明的解决手段为提供一种静电吸盘，其特征包含：陶瓷介电质基板，具有：承载处理对象物的第一主表面，和与第一主表面相反侧的第二主表面，为多晶陶瓷烧结体；电极层，介设于陶瓷介电质基板的第一主表面与第二主表面之间，被一体烧结于陶瓷介电质基板；温度调节板，配设于第二主表面侧；加热器，配设于电极层与温度调节板之间，陶瓷介电质基板具有：电极层与第一主表面之间的第一介电层，和电极层与第二主表面之间的第二介电层，电极层包含：具有导电性的第一部分，与红外线分光透射率比第一部分高的第二部分，陶瓷介电质基板的第一介电层及第二介电层中的红外线分光透射率为以厚度1毫米(mm)换算为20百分比(%)以上。 |
