| 发明名称 |
新颖树脂及包括该树脂之光阻组成物 |
| 摘要 |
本发明提供包括多环芳香酯单元及/或多环多环状酯单元(较佳为光酸不安定者)之新树脂。本发明亦提供包括该树脂以及多环芳香酯单元及/或多环多环状酯单元之化学增幅正型光阻。 |
| 申请公布号 |
TWI468857 |
申请公布日期 |
2015.01.11 |
| 申请号 |
TW099115904 |
申请日期 |
2010.05.19 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 美国 |
发明人 |
刘琮;徐承柏 |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/039;C08F220/18;C08F220/28;H01L21/027;C07C69/54 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种光阻组成物，包括一种或多种光酸产生剂及树脂，该树脂包括一个或多个含有下式经反应基团之单元之树脂：其中，R及R’各自独立表示氢或视需要经取代之C1-6烷基，M为芳香碳脂环结构、芳香族杂脂环结构、多环状碳脂环结构、或多环状杂脂环结构，n为1至5之整数。 |
| 地址 |
美国 |
