发明名称 |
中介层的测试方法 |
摘要 |
一种中介层的测试方法。中介层中具有多个导线,且中介层上具有多个连接点,分别与导线电性连接。中介层的测试方法包括提供非直接接触式询答装置。非直接接触式询答装置包括第一电路。第一电路包括短路/开路测试电路以及至少一对接点。然后,将非直接接触式询答装置之第一电路的接点与中介层被选定的接点接触,构成观测点,以藉由观测点量测中介层之短路情况或/及开路情况。 |
申请公布号 |
TWI468704 |
申请公布日期 |
2015.01.11 |
申请号 |
TW101143147 |
申请日期 |
2012.11.19 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
周永发;蒯定明 |
分类号 |
G01R31/02;H01L23/544 |
主分类号 |
G01R31/02 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
一种中介层的测试方法,包括:提供一中介层,该中介层中具有多条导线,且该中介层上具有多个接点,该些接点分别与该些导线电性连接;提供一非直接接触式询答装置,该非直接接触式询答装置包括:至少一第一电路,该第一电路包括一短路/开路测试电路以及至少一对接点,各接点与该第一电路连接;以及将该非直接接触式询答装置的各接点分别与该中介层被选定的该些接点接触,以构成一观测点,由该观测点进行该中介层之短路/开路电路测试。 |
地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |