| 摘要 |
1. Анодный узел вакуумно-дугового источника катодной плазмы, содержащий охваченный фокусирующей электромагнитной катушкой анод, выполненный в виде отрезка трубы, внутри которого коаксиально ему размещена в электропроводном кожухе отклоняющая электромагнитная катушка, с направлением магнитного поля навстречу магнитному полю фокусирующей электромагнитной катушки, внутри отклоняющей катушки на ее оси вблизи ее торца, обращенного к входному отверстию анода, расположен постоянный отклоняющий магнит, магнитное поле которого сонаправлено магнитному полю отклоняющей электромагнитной катушки, отличающийся тем, что он включает, расположенный внутри электромагнитной отклоняющей катушки на ее оси вблизи ее торца, обращенного в сторону противоположную входному отверстию анода, дополнительный постоянный магнит, магнитное поле которого направлено встречно магнитному полю постоянного отклоняющего магнита, при этом положительный полюс источника питания дуги электрически соединен как с анодом через обмотку фокусирующей электромагнитной катушки, так и с кожухом отклоняющей катушки через ее обмотку.2. Анодный узел по п.1, отличающийся тем, что обмотка отклоняющей электромагнитной катушки, выполнена из электропроводящей трубки, охлаждаемой водой, при этом виток этой обмотки вблизи ее торца, обращенного к входному отверстию анода, имеет тепловой контакт с кожухом. |
