| 摘要 |
1. Радиационно стойкий преобразователь деформации, содержащий упругую пластину, выполненную в виде четырехслойного компонента, в основании которого находится кремниевая подложка, а последующие слои - нижний изолирующий слой, фоточувствительный слой и верхний изолирующий слой, представляют собой диоксид кремния, в фоточувствительном слое сформирован волновод с чувствительным элементом в виде решетки Брэгга, при этом фоточувствительный слой легирован азотом.2. Радиационно стойкий преобразователь деформации по п. 1, отличающийся тем, что в зоне упругой пластины, не восприимчивой к измеряемой деформации, в фоточувствительном слое расположен дополнительный чувствительный элемент в виде решетки Брэгга. |
