| 摘要 |
出口の上流に位置する入口を有する少なくとも部分的に圧縮可能なポンプ要素の第１の部分の隣接したセクションを順次圧縮するように構成された複数の蠕動ポンプ・アクチュエータを含む、ポンプ機構が開示される。複数のポンプ・アクチュエータは、各隣接した対のポンプ・アクチュエータ間に第１の位相オフセットを伴って、共通の駆動周波数で往復運動する。ポンプ機構はまた、第１の部分と出口との間に配置された少なくとも部分的に圧縮可能なポンプ要素の第２の部分を選択的に圧縮するように配列された、少なくとも１つの補償アクチュエータ含む。少なくとも１つの補償アクチュエータは、最適な変位で、且つ基本駆動周波数の整数倍の変調周波数で、且つ隣接したポンプ・アクチュエータとの間に第２の位相オフセットを伴って、往復運動するように構成される。 |
