Generator für räumlich codiertes strukturiertes Licht

摘要

Ein räumlich codiertes strukturiertes Licht wird durch ein Array von Laserdioden (1) generiert, um eine Triangulation von strukturiertem Licht auszuführen. Die Laserdioden (1a–c) sind VCSEL, wobei das Licht in der Richtung senkrecht zu der Halbleiterwaferoberfläche ausgesendet wird. Mehrere solcher Laserdioden (1a–c) sind monolithisch integriert, um ein Array (1) zu bilden. Die Position der einzelnen Laserdioden in dem Array wird räumlich codiert, um ein unregelmäßiges einzigartiges Muster zu bilden. Die Lichtabgabe durch die Laser wird durch ein brechendes oder beugendes optisches System (2) in den zu überwachenden Raum hinein projiziert, um das strukturierte Lichtmuster zu bilden. Ein zu untersuchendes Objekt (5) kann durch das VCSEL-Array (1) beleuchtet werden, und eine Kamera (3) nimmt die Vollbilder auf. Eine Verarbeitungseinheit (4) steuert die Leistung der VCSEL (1a–c) und verarbeitet die Daten von der Kamera (3).