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发明名称 SUBSTRATE DEPOSITION APPARATUS AND METHOD TO CONTROL THAT
摘要
申请公布号 KR20150002951(A) 申请公布日期 2015.01.08
申请号 KR20130074645 申请日期 2013.06.27
申请人 LIGADP CO., LTD. 发明人 AHN, MIN HYUNG;KIM, SUNG SU;JI, JONG YEOUL;HWANG, CHANG HUN
分类号 H01L51/56;C23C14/24;C23C14/54;H05B33/10 主分类号 H01L51/56
代理机构 代理人
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