Herstellung von Mono- und Multischicht-Graphen hoher Qualität in großem Maßstab durch chemische Abscheidung aus der Gasphase

摘要

Es werden Systeme und Verfahren zum Synthetisieren kontinuierlicher Graphenschichten bereitgestellt. Die Systeme und Verfahren umfassen das Führen eines Katalysatorsubstrats durch eine erwärmte Kammer einer chemischen Abscheidung aus der Gasphase und das Aussetzen des Substrats einem Reaktionsgasgemisch von Wasserstoff und Kohlenwasserstoff an einer vorab ausgewählten Stelle innerhalb der Kammer. Das Reaktionsgasgemisch kann Wasserstoff eines Partialdrucks von etwa 0 Torr bis etwa 20 Torr, Kohlenwasserstoff eines Partialdrucks von etwa 20 mTorr bis etwa 10 Torr und ein oder mehrere Puffergase umfassen. Die Puffergase können Argon und andere Edelgase umfassen, um den Atmosphärendruck innerhalb der Kammer der chemischen Abscheidung aufrechtzuerhalten.