Sensorelement mit in vier Segmente unterteilter Sensorschicht und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Der Erfindung betrifft ein Sensorelement (10) umfassend eine Membran und eine auf die Membran aufgebrachte Sensorschicht (20), wobei ein aktiver Bereich (21) der Sensorschicht (20) in vier Segmente (S1...S4) unterteilt ist und in der Sensorschicht (20) vier Widerstände (R1...R4) ausgebildet sind, die eine Widerstandsbrücke (22) bilden, wobei jeweils zwei benachbarte Segmente (S1...S4) durch einen Widerstand (R1...R4) elektrisch miteinander verbunden sind, die Fläche der Segmente (S1...S4) größer ist als die Fläche der Widerstände (R1...R4) und das Sensorelement (10) an den vier Segmenten (S1...S4) elektrisch kontaktiert ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zu Herstellung eines Sensorelements.