Vorrichtung zur Untersuchung eines Partikelstrahls

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Untersuchung eines Partikelstrahls (3) beim thermischen Spritzen mit einer Spritzeinrichtung (2), einer die Beschichtung aufnehmenden Probe und wenigstens einer Messeinrichtung (6) zur Erfassung des Partikelstrahls (3). Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Probe relativ zu einem Aufbau mit der Spritzeinrichtung (2) und der wenigstens einen Messeinrichtung (6) beweglich ausgebildet ist. Verfahrensgemäß wird die Probe während der Messung relativ zu dem Aufbau mit der Spritzeinrichtung (2) und der wenigstens einen Messeinrichtung (6) bewegt.