发明名称 一种新型的正交狭缝光波导结构及制造方法
摘要 本发明公开了一种新型的正交狭缝光波导结构及制造方法,包括衬底(101),位于衬底(101)上的单晶硅层(102)及位于单晶硅层(102)上的正交狭缝结构,正交狭缝结构包括:正交结构的狭缝区域(104,105,107),位于狭缝区域(104,105,107)正交交汇的中心区域(108)及包围狭缝区域(104,105,107)的周围区域(103,106),中心区域(108)的折射率小于狭缝区域(104,105,107)的折射率,周围区域(103,106)的折射率大于狭缝区域(104,105,107)的折射率。本发明实现光场在狭缝结构中传输时的二维限制,并且通过调整结构尺寸和狭缝区域的材料,可以实现波导的色散与非线性特性的有效调节。
申请公布号 CN104267463A 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201410579910.X 申请日期 2014.10.23
申请人 重庆大学 发明人 刘艳;韩根全;颜静
分类号 G02B6/122(2006.01)I;G02B6/136(2006.01)I 主分类号 G02B6/122(2006.01)I
代理机构 重庆市前沿专利事务所(普通合伙) 50211 代理人 郭云
主权项 一种新型的正交狭缝光波导结构,其特征在于,包括衬底(101),位于所述衬底(101)上的单晶硅层(102)及位于所述单晶硅层(102)上的正交狭缝结构,所述正交狭缝结构包括:正交结构的狭缝区域(104,105,107),位于所述狭缝区域(104,105,107)正交交汇处的中心区域(108)及包围所述狭缝区域(104,105,107)的周围区域(103,106),所述中心区域(108)的折射率小于所述狭缝区域(104,105,107)的折射率,所述周围区域(103,106)的折射率大于所述狭缝区域(104,105,107)的折射率。
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