发明名称 半导体器件的制造方法、半导体器件及相机组件
摘要 本发明提供半导体器件的制造方法、半导体器件及相机组件。根据实施方式,在第1基板的表面、背面及侧面上,形成绝缘膜。接着,除去第1基板的表面侧的绝缘膜,在除去了绝缘膜的第1基板的表面上形成粘接层。然后,经由粘接层,将第1基板和第2基板贴合。
申请公布号 CN104269420A 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201410527757.6 申请日期 2011.08.29
申请人 株式会社东芝 发明人 白野贵士;谷田一真;山口直子;本乡悟史;松村刚
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 戚宏梅;杨谦
主权项 一种半导体器件的制造方法,其特征在于,在第1基板的表面、背面及侧面上形成作为绝缘膜的薄膜;在上述薄膜上形成保护膜;在上述第1基板的表面侧的上述保护膜上形成粘接层;经由上述粘接层将上述第1基板和第2基板贴合。
地址 日本东京都