一种硅片数片装置及数片方法

摘要

本发明涉及数片设备，具体为一种硅片数片装置及数片方法，其装置结构简单，方便地完成硅片的数片操作，提高效率，其包括托板，所述托板包括玻璃板，所述玻璃板上部一端设置带有斜坡的靠板，所述玻璃板下部两侧对称设置配合的光源和光电探测器，所述光源照射到玻璃板形成全反射，所述光电探测器连接电脑，将硅片倾斜一定角度放置于玻璃板上部，玻璃板下部一侧使用光源照射，光源照射到玻璃板形成全反射，在玻璃板下部另一侧用光电探测器接收光源全反射后光波的光电探测器，光电探测器连接电脑，通过电脑上的明暗条纹数量计算出硅片数量。

主权项

一种硅片数片装置，其特征在于，其包括托板，所述托板包括玻璃板，所述玻璃板上部一端设置带有斜坡的靠板，所述玻璃板下部两侧对称设置配合的光源和光电探测器，所述光源照射到玻璃板形成全反射，所述光电探测器连接电脑。