横向传送系统

摘要

本发明提供一种用于水平定向处理腔室内的模块化横向传送系统。每个模块除了将反应物物料移动穿过所述水平定向处理腔室外，还具有输送工艺气体的能力。所述模块化设计使得操作员能够移去并替换所述系统的模块，从而实质上最小化了在维修期间所述腔室所需的停机时间。

主权项

一种设置成用于插入处理腔室中的多功能炉盒，所述炉盒包含：横向传送系统，其设置成移动反应物物料；以及一个或多个工艺气体供应系统，其设置成提供一种或多种工艺气体以与所述反应物物料相互作用，其中，当安装在处理腔室中时，多个所述多功能炉盒在处理腔室中形成模块化横向传送系统以移动反应物物料从中穿过。