发明名称 破裂检测机构
摘要 一种破裂检测机构,应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出,该玻璃及该晶圆的间定义为一检测位置,该破裂检测机构包括一转动件、至少一传感器及一第一驱动装置。传感器设置于转动件上,转动件连接于第一驱动装置,第一驱动装置能驱动转动件转动,转动件、传感器及第一驱动装置能移入及移出检测位置;由此,可用于板材(如玻璃、晶圆)破裂状态检出,且可降低成本,并使检测功能提升。
申请公布号 CN204086159U 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201420468448.1 申请日期 2014.08.19
申请人 弘塑科技股份有限公司 发明人 刘文明;陈薇云
分类号 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/958(2006.01)I 主分类号 G01N21/88(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 李昕巍;赵根喜
主权项 一种破裂检测机构,其特征在于,包括:一转动件;至少一传感器,该至少一传感器设置于该转动件上;以及一第一驱动装置,该转动件连接于该第一驱动装置,该第一驱动装置能驱动该转动件转动。
地址 中国台湾新竹市