发明名称 |
破裂检测机构 |
摘要 |
一种破裂检测机构,应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出,该玻璃及该晶圆的间定义为一检测位置,该破裂检测机构包括一转动件、至少一传感器及一第一驱动装置。传感器设置于转动件上,转动件连接于第一驱动装置,第一驱动装置能驱动转动件转动,转动件、传感器及第一驱动装置能移入及移出检测位置;由此,可用于板材(如玻璃、晶圆)破裂状态检出,且可降低成本,并使检测功能提升。 |
申请公布号 |
CN204086159U |
申请公布日期 |
2015.01.07 |
申请号 |
CN201420468448.1 |
申请日期 |
2014.08.19 |
申请人 |
弘塑科技股份有限公司 |
发明人 |
刘文明;陈薇云 |
分类号 |
G01N21/88(2006.01)I;G01N21/958(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/88(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
李昕巍;赵根喜 |
主权项 |
一种破裂检测机构,其特征在于,包括:一转动件;至少一传感器,该至少一传感器设置于该转动件上;以及一第一驱动装置,该转动件连接于该第一驱动装置,该第一驱动装置能驱动该转动件转动。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |