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发明名称 CATHODE FOR PLASMA CHEMICAL VAPOR APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20150002434(A) 申请公布日期 2015.01.07
申请号 KR20140016468 申请日期 2014.02.13
申请人 SNTEK CO., LTD. 发明人 AN, KYOUNG JOON;KWON, O DAE
分类号 C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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