发明名称 堆栈式N型晶体管以及静电保护电路
摘要 本发明的堆栈式N型晶体管,包括有半导体衬底、器件区、设置于器件区内的N型注入区,所述N型注入区两侧分别对称设置至少两个NMOS晶体管,所述N型注入区与相邻的所述NMOS晶体管的漏极相连,所述N型注入区的表面区域内形成有N型连接区,并且,距离所述N型注入区最远的所述NMOS晶体管的源极形成N型深掺杂区。本发明中,通过增加与所述注入区相邻的NMOS晶体管的漏极电阻,使得形成的寄生NPN晶体管的寄生内阻增加,因此,静电保护电路电流路径上的导通电阻增加,使得二次击穿电压提高,每个寄生NPN晶体管均可以开启,使得导通电流均匀的流过每个NPN晶体管,提高静电保护能力。
申请公布号 CN104269440A 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201410526102.7 申请日期 2014.09.30
申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司 发明人 单毅
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种堆栈式N型晶体管,其特征在于,包括:半导体衬底,所述半导体衬底内包括器件区;N型注入区,位于所述器件区内;所述N型注入区两侧分别对称设置至少两个NMOS晶体管,所述N型注入区与相邻的所述NMOS晶体管的漏极相连;所述N型注入区的表面区域内形成有N型连接区;其中,距离所述N型注入区最远的所述NMOS晶体管的源极形成N型深掺杂区。
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