一种用于氢化物气相外延（HVPE）生长的加热装置

摘要

本发明涉及一种用于氢化物气相外延(HVPE)生长的加热装置，包括5个加热温区、炉内加热模块、加热炉体及加热炉外壳；所述加热炉体分为辅助加热温区和材料生长加热恒温区；所述各加热温区均设置多个加热模块及其内置温度传感器；所述各加热模块及其内置温度传感器分别与自动控温电路连接，通过自动控温电路合理调节加热模块的加热功率，结合在加热温区中设置的加热模块的种类及加热方式，将每一个温区的温度独立、精密控制在预设温度范围，从而实现炉内温场的温度分布均匀、稳定。本发明尤其适合于大面积区域的材料生长。

主权项

一种用于氢化物气相外延(HVPE)生长的加热装置，包括加热炉和炉内加热模块(11)；其特征在于，所述加热炉包括第一加热温区(3)、第二加热温区(4)、第三加热温区(5)、第四加热温区(6)、第五加热温区(7)以及加热炉体(1)和加热炉外壳(2)；所述各加热温区均设置多个加热模块及其内置温度传感器(14)；所述加热模块及其内置温度传感器(14)分别与自动控温电路连接。