改善光学滤光片滤光特性的方法与装置

摘要

本发明揭示一成像器的一光学滤光片结构,该光学滤光片结构具有订制化子波长元件,对于入射角,当其横跨该成像器光转换器件而改变时,该等子波长元件用以相应地保持横跨一光转换器件之滤光片特性,以最佳化该结构。尤其,订制化用于该结构设计之子波长元件之布局(例如,其他参数中之光栅周期),以便使用用以投影该影像之光学元件之入射角进行改变。该等子波长元件通常系由例如光学或压模微影术之高解析度微影程序所制成。