太阳能电池

摘要

一种太阳能电池包括基板,其中具有p-n掺杂结构形成于基板之中,缓冲层形成于基板之上,凹槽图案,形成于缓冲层之中,缓冲层的材料包含但不限定为氧化矽(SiO2)、氮化矽(SiNx)、氮氧化矽层或其组合。缓冲层的较佳厚度为50~100奈米,且以溅镀法形成上开缓冲层。一金属层,形成于缓冲层之上,并填入凹槽图案。