高次谐波激光振荡器

摘要

具有：SHG晶体（9）及THG晶体（10），它们对从YAG棒（5）输出的红外激光（L1）的波长进行波长变换而输出UV激光（L3）；SHG调温器（17）及THG调温器（18），它们对SHG晶体（9）及THG晶体（10）的温度进行调节；以及运算部（19），其基于UV激光（L3）的输出值，对SHG调温器（17）及THG调温器（18）进行控制，如果在对SHG晶体（9）及THG晶体（10）的初始温度进行了调节之后，THG晶体（10）开始UV激光（L3）的输出，则在UV激光（L3）的向外部的输出值小于第1最小容许值的情况下，运算部（19）使SHG调温器（17）及THG调温器（18）进行温度调节，以使得UV激光（L3）的输出值大于第2最小容许值。

主权项

一种高次谐波激光振荡器，其特征在于，具有： 基本波输出部，其将通过激励激光介质而产生的基本波激光，通过利用Q开关而形成为脉冲激光状的基本波激光并输出； 波长变换部，其具有第1非线性晶体和第2非线性晶体，该第1非线性晶体生成具有所述基本波激光的1/第1自然数倍波长的第1高次谐波激光，该第2非线性晶体与所述第1非线性晶体相比配置在所述第1高次谐波激光的输出侧即下游侧，并生成具有所述基本波激光的1/第2自然数倍波长的第2高次谐波激光，并且，如果所述第1非线性晶体被照射了所述基本波激光，则该波长变换部使用所述第1及第2非线性晶体对所述基本波激光的波长进行波长变换，而作为所述第2高次谐波激光输出； 第1温度调节部，其对所述第1非线性晶体的温度进行调节；以及 第2温度调节部，其对所述第2非线性晶体的温度进行调节， 在所述波长变换部开始所述第2高次谐波激光的输出后，在所述第2高次谐波激光的向外部的输出值小于第1最小容许值的情况下，所述第1温度调节部通过在由所述第2温度调节部进行了所述第2非线性晶体的温度调节之后，进行所述第1非线性晶体的温度调节，从而使得所述第2高次谐波激光的向外部的输出值大于第2最小容许值，该第2最小容许值大于或等于所述第1最小容许值。