热处理装置、热处理方法、电脑程式及记忆媒体

摘要

本发明揭示一种热处理装置、热处理方法、电脑程式及储存媒体。在一直立式热处理装置中，希望(例如)藉由抑制内壁所附着之膜之剥落来稳定载入时反应容器之一内壁之温度以及减小粒子污染。预先将一内壁温度感测器安装至该反应容器之内壁，以便获得该内壁温度感测器之各时间序列侦测值资料与欲提供至加热构件之电力之一指令值。在一载入初始时间期间，根据前面资料刚获得之电力指令值来预测该内壁温度，以便将该内壁温度预测值用作一欲控制目标。其后，大约在载入结束时，该欲控制目标系逐渐变更为一设于该反应容器外部之温度侦测部之温度侦测值，以便随时间完全变更为该温度侦测值。