一种真空中带电污染物的检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种真空中带电污染物的检测装置及方法，属于真空技术应用领域。所述装置包括：真空测试室、热电子发射阴极、热电子发射阴极陶瓷固定件、加速极支撑架、偏转栅网、测试法兰、加速极、底座、出气盖、加热台、支架；直流稳流电源、第一稳压电源、真空机组、第二稳压电源；QCM探头、QCM支架、QCM频率监测仪、温控仪。所述方法在真空中利用热电子发射阴极产生电子，并利用加速极使电子在环形电场中反复运动，运动的电子与材料受热出气产物相互作用，产生带电污染物。

主权项

一种真空中带电污染物的检测装置，其特征在于：所述装置包括：真空测试室(1)、热电子发射阴极(2)、热电子发射阴极陶瓷固定件(3)、加速极支撑架(4)、偏转栅网(5)、测试法兰(6)、加速极(9)、底座(10)、出气盖(11)、加热台(12)、支架(13)；直流稳流电源、第一稳压电源、真空机组、第二稳压电源；QCM探头(7)、QCM支架(8)、QCM频率监测仪、温控仪；其中，真空测试室(1)内部中心位置设有底座(10)；热电子发射阴极(2)通过热电子发射阴极陶瓷固定件(3)固定安装在底座(10)左侧；加速极(9)通过加速极支撑架(4)固定安装在底座(10)中部；QCM支架(8)固定安装在底座(10)右侧；偏转栅网(5)固定安装在QCM支架(8)左侧，并与QCM支架(8)之间绝缘；QCM探头(7)固定安装在QCM支架(8)右侧；加热台(12)通过支架(13)固定安装在真空测试室(1)左侧，在加热台(12)中心开有出气孔，在出气孔上设有出气盖(11)，加热台(12)出气孔与QCM探头(7)正对；测试法兰(6)安装在真空测试室(1)顶部，在测试法兰(6)上布置有三个真空接插件，其中两个为高压真空接插件；在真空测试室(1)底部和侧壁分别安装有真空法兰；直流稳流电源、第一稳压电源、第二稳压电源、QCM频率监测仪、真空机组、温控仪位于真空测试室(1)外部；直流稳流电源通过真空接插件与热电子发射阴极(2)连接；第一稳压电源通过一个高压真空接插件与加速极(9)连接；第二稳压电源通过另一个高压真空接插件与偏转栅网(5)连接；QCM频率监测仪通过真空测试室(1)侧壁的真空法兰与QCM探头(7)连接；温控仪通过真空测试室(1)底部的真空法兰与加热台(12)连接；真空机组与真空测试室(1)连接；其中，热电子发射阴极(2)为门式钨丝；加速极支撑架(4)为两个平行的金属杆；加速极(9)为多层圆环，均布安装在加速极支撑架(4)上，相邻两个圆环之间的间距为1mm～10mm；加速极(9)材料为不锈钢或铜；加速极支撑架(4)材料为金属；加热台(12)与测试法兰(6)底部的距离为130mm，与真空测试室(1)底部距离≥200mm；热电子发射阴极(2)所在平面与加热台(12)出气孔之间的距离为5mm～15mm；热电子发射阴极(2)所在平面与加速极(9)之间的距离为1mm～3mm，所述距离为热电子发射阴极(2)所在平面到加速极(9)边缘的最短距离。