制造压电促动器的方法和制造液体输送装置的方法

摘要

在振动板的上表面上在与压力腔室对应的位置处形成凹进。接着，在该凹进中填充低弹性材料，该低弹性材料具有比振动板低的弹性模量。然后，在振动板的上表面上喷洒包括压电材料粒子和载体气体的气雾，以形成压电层。这时，压电材料粒子不附着于填充在凹进中的低弹性材料的表面，因此能够只在除了低弹性材料的该表面之外的区域中形成压电层。因此，提供了一种制造压电促动器的方法，该方法能够容易地防止在通过气雾沉积方法形成压电层时在凹进的表面上形成压电层。本发明还提供制造包括该压电促动器的液体输送装置的方法。

主权项

一种制造压电促动器的方法，包括：提供基部构件和振动板，该基部构件包括不干涉部分，该振动板接合到基部构件的一个表面以覆盖不干涉部分，振动板具有接合表面，基部构件接合在该接合表面上，并且振动板具有堆叠表面，该堆叠表面位于与接合表面相反的一侧上；在振动板的堆叠表面中在与不干涉部分对应的位置处形成凹进部分；在振动板的凹进中填充在第一温度下热分解的填充剂；通过在振动板的堆叠表面上形成压电层来形成包括振动板、压电层和填充剂的堆叠体；将该堆叠体加热至等于或高于第一温度的温度以使填充剂热分解并去除填充剂和压电层的位于填充剂的表面上的部分；并且形成布置在压电层的一个表面上的第一电极和布置在压电层的另一个表面上的第二电极。