发明名称 一种镀膜蒸发源及应用该蒸发源的真空镀膜机
摘要 本实用新型一种镀膜蒸发源,所述蒸发源包括电发热导体和镀膜颗粒,所述导体两端为可分别连接直流电正负电极的电极连接端,所述导体两侧设有可固定所述镀膜颗粒的卡槽,所述导体两侧分别通过卡槽装载有镀膜颗粒,依借上述技术方案,本实用新型所提供的镀膜蒸发源通过结构上的改进,致使镀膜颗粒中的药剂经过所述导体加热后向两侧散发,减少了向上及向下方散发的数量,使药剂能够充分被利用,减少了浪费同时提高了效率。
申请公布号 CN204080096U 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201420583845.3 申请日期 2014.10.10
申请人 深圳德诚达光电材料有限公司 发明人 张星;孙昂
分类号 C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种镀膜蒸发源,其特征在于,所述蒸发源包括电发热导体和镀膜颗粒,所述导体两端为可分别连接直流电正负电极的电极连接端,所述导体两侧设有可固定所述镀膜颗粒的卡槽,所述导体两侧分别通过卡槽装载有镀膜颗粒。 
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