发明名称 |
一种镀膜蒸发源及应用该蒸发源的真空镀膜机 |
摘要 |
本实用新型一种镀膜蒸发源,所述蒸发源包括电发热导体和镀膜颗粒,所述导体两端为可分别连接直流电正负电极的电极连接端,所述导体两侧设有可固定所述镀膜颗粒的卡槽,所述导体两侧分别通过卡槽装载有镀膜颗粒,依借上述技术方案,本实用新型所提供的镀膜蒸发源通过结构上的改进,致使镀膜颗粒中的药剂经过所述导体加热后向两侧散发,减少了向上及向下方散发的数量,使药剂能够充分被利用,减少了浪费同时提高了效率。 |
申请公布号 |
CN204080096U |
申请公布日期 |
2015.01.07 |
申请号 |
CN201420583845.3 |
申请日期 |
2014.10.10 |
申请人 |
深圳德诚达光电材料有限公司 |
发明人 |
张星;孙昂 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种镀膜蒸发源,其特征在于,所述蒸发源包括电发热导体和镀膜颗粒,所述导体两端为可分别连接直流电正负电极的电极连接端,所述导体两侧设有可固定所述镀膜颗粒的卡槽,所述导体两侧分别通过卡槽装载有镀膜颗粒。 |
地址 |
518000 广东省深圳市光明新区公明办事处田寮社区光侨路高科科技园第1栋(光明高新园区西片区)第四层 |