发明名称 |
模具的制造方法及表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种模具的制造方法,其具有下述的工序(I)~(IV):(I)制作在表面形成有微细凹凸结构的模具主体(16)的工序;(II)用脱模剂对模具主体(16)的形成有微细凹凸结构一侧的表面进行处理的工序,其中所述脱模剂具有能与存在于所述表面的官能团(A)反应的官能团(B);(III)将用脱模剂进行了处理的模具主体(16)置于加热加湿下的工序;(IV)重复两次以上所述工序(II)和工序(III)的工序。本发明可以提供即使重复转印表面的微细凹凸结构也能长时间维持脱模性的模具的制造方法、及生产率良好地制造表面具有微细凹凸结构的物品的方法。 |
申请公布号 |
CN102791454B |
申请公布日期 |
2015.01.07 |
申请号 |
CN201180012912.5 |
申请日期 |
2011.03.22 |
申请人 |
三菱丽阳株式会社 |
发明人 |
中井祐介;中村雅;小泽觉;地纸哲哉 |
分类号 |
B29C33/58(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;B29L11/00(2006.01)I |
主分类号 |
B29C33/58(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种模具的制造方法,其具有下述的工序(I)~(IV):(I):制作在表面形成有微细凹凸结构的模具主体的工序,(II):在工序(I)之后,用脱模剂对所述模具主体的形成有所述微细凹凸结构一侧的表面进行处理的工序,其中所述脱模剂具有能与存在于所述表面的官能团A反应的官能团B,(III):在工序(II)之后,将所述模具主体置于加热加湿下的工序,(IV):重复两次以上所述工序(II)和工序(III)的工序。 |
地址 |
日本东京都 |