反射防止膜、透镜、光学系统、物镜以及光学设备

摘要

本发明提供对于紫外区域和可见区域这两个区域的光，光学上稳定，光的吸收较少，并且能够有效实现预定的反射防止的反射防止膜。具有在透明的基板上从空气侧向基板侧依次形成有第1层、第2层、第3层、第4层、第5层、第6层的6层以上的薄膜的结构，从空气侧起的第奇数个薄膜是低折射率膜，第偶数个薄膜是低折射率膜或折射率比低折射率膜大的中间折射率膜，在将中心波长λ0下的中间折射率膜和低折射率膜的折射率分别设为了N_M、N_L时，它们满足预定的式子，并且紫外区的波长λ1和可见区的波长λ2满足预定的式子。

主权项

一种反射防止膜，其具有在透明的基板上从空气侧向所述基板侧依次形成有第1层、第2层、第3层、第4层、第5层、第6层的6层以上的薄膜的结构，从所述空气侧起的第奇数个薄膜是低折射率膜，第偶数个薄膜是低折射率膜或折射率比所述低折射率膜大的中间折射率膜，在将中心波长λ0下的所述中间折射率膜和所述低折射率膜的折射率分别设为了N_M、N_L时，同时满足下式（1）、（2）、（3），λ0＝500nm···（1）1.45≦N_M≦1.8  ···（2）N_L＜1.45  ···（3）该反射防止膜的特征在于，在紫外区的波长λ1和可见区的波长λ2处防止反射，同时满足下式（4）、（5）、（6）、（7）、（8）、（9），λ1＝355nm···（4）400nm≦λ2≦700nm  ···（5）R1≦1.0%  ···（6）R2≦1.5%  ···（7）K1≦1.0%  ···（8）K2≦1.0%  ···（9）此处，R1是波长λ1下的反射率，R2是波长λ2下的反射率，K1是波长λ1下的膜吸收率，K2是波长λ2下的膜吸收率，所述膜吸收率为100－（100－（所述基板的反射率+所述基板的透射率））－（施加所述反射防止膜后的所述基板的反射率+施加所述反射防止膜后的所述基板的透射率）。