发明名称 | 输送设备 | ||
摘要 | 一种用于输送基底的基底输送设备,该基底输送设备包括框架、连接到框架上的至少一个传递臂、安装到至少一个传递臂的至少一个末端执行器,和设置在至少一个末端执行器上的至少一个基底支承垫,至少一个基底支承垫具有下列构造,该构造沿至少一个预定方向实现由增大的摩擦系数引起的增大的摩擦力。 | ||
申请公布号 | CN104271474A | 申请公布日期 | 2015.01.07 |
申请号 | CN201280069898.7 | 申请日期 | 2012.12.17 |
申请人 | 布鲁克斯自动化公司 | 发明人 | U.吉尔克里斯特;J.T.穆拉 |
分类号 | B65G25/00(2006.01)I | 主分类号 | B65G25/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 肖日松;谭祐祥 |
主权项 | 一种用于输送基底的基底输送设备,所述基底输送设备包括:框架;至少一个传递臂,其连接到所述框架;至少一个末端执行器,其安装到所述至少一个传递臂;和至少一个基底支承垫,其设置在所述至少一个末端执行器上,所述至少一个基底支承垫具有下列构造,所述构造沿至少一个预定方向实现由增大的摩擦系数引起的增大的摩擦力。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |