发明名称 |
铝的电子束抛光 |
摘要 |
本发明公开了使用多种机加工工艺来形成铝基板上的高度抛光的表面的方法。在该机加工工艺期间,金属间化合物通常由在该切割工艺期间在铝基板的切削刃和切割尖端之间所产生的局部加热所致而在铝基板的顶表面区域处产生。由于金属间化合物从该顶表面剥落,在常规的机械抛光操作之后,金属间化合物可能留下表面缺陷,使得该铝基板的表面难以获得所期望的高光泽度。为了去除该金属间化合物的影响,将电子束施加至该表面,引起焦耳加热以熔化顶表面区域。这样,即可消除任何模具痕迹和金属间化合物。 |
申请公布号 |
CN104271804A |
申请公布日期 |
2015.01.07 |
申请号 |
CN201380023815.5 |
申请日期 |
2013.03.18 |
申请人 |
苹果公司 |
发明人 |
S·R·兰开斯特-拉罗克;P·哈雷罗;植村贤介 |
分类号 |
C23F4/04(2006.01)I;C23F1/20(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I |
主分类号 |
C23F4/04(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
罗银燕 |
主权项 |
一种抛光铝部件的表面的方法,包括:通过酸蚀刻所述铝部件来以化学方法预处理所述铝部件;以及通过电子束对所述铝部件的经酸蚀刻的表面进行电子束处理,所述电子束处理通过以下来表征:所述电子束的加速电压介于约10kV和25kV之间,电子束脉冲持续时间介于约50微秒和150微秒之间,电子束脉冲频率介于约1Hz和10Hz之间,以及利用所述电子束来扫描所述铝部件的表面部分,其中所述铝部件的所述表面的所产生的表面熔体消除了基本上所有的金属间化合物并且基本上扩大了所述铝部件的所述表面的晶界。 |
地址 |
美国加利福尼亚 |