发明名称 衬底的功能化
摘要 提供了一种增加电极的功函数的方法。所述方法包括利用电磁辐射从前体中获得电负性物质,和使所述电极的表面与所述电负性物质反应。还提供了一种包括功能化的衬底的电极。
申请公布号 CN104272489A 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201380019756.4 申请日期 2013.04.15
申请人 OTI领英有限公司 发明人 迈克尔·赫兰德;邱杰克;王志斌;卢征鸿
分类号 H01L51/56(2006.01)I;B01J19/12(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;C23C8/08(2006.01)I;C23C8/36(2006.01)I 主分类号 H01L51/56(2006.01)I
代理机构 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人 袁波;刘继富
主权项 一种增加电极的功函数的方法,包括:利用电磁辐射从前体中获得电负性物质;和使所述电极的表面与所述电负性物质反应。
地址 加拿大安大略省多伦多