用于弹性体带的安装固定架及其使用方法

摘要

一种弹性体带的安装方法，所述弹性安装带作为围绕半导体衬底支撑件的一部分周围的保护性边缘密封件，所述衬底支撑件用于在等离子体处理室中支撑半导体衬底，所述安装方法包括：使弹性体带扩展成具有大于所述衬底支撑件内的安装沟槽的直径的直径的圆形；将扩展形状的所述弹性体带夹持在基环与夹环之间；将扩展形状的所述弹性体带放置在所述衬底支撑件的上方；并且从所述基环与所述夹环之间释放所述弹性体带，从而使所述弹性体带收缩到所述衬底支撑件的所述安装沟槽中。

主权项

一种弹性体带的安装方法，所述弹性安装带作为半导体衬底支撑件的一部分周围的保护性边缘密封件，所述衬底支撑件用于在等离子体处理室中支撑半导体衬底，所述安装方法包括：使弹性体带扩展成具有大于所述衬底支撑件内的安装沟槽的直径的直径的圆形；将扩展形状的所述弹性体带夹持在基环与夹环之间；将扩展形状的所述弹性体带放置在所述衬底支撑件的上方；并且从所述基环与所述夹环之间释放所述弹性体带，从而使所述弹性体带收缩至所述衬底支撑件的所述安装沟槽中。