基板箱、基板搬运箱、箱覆盖体、基板搬运系统及基板搬运方法

摘要

基板箱(1)，其用于将对角尺寸超过2m的大型基板收容在内部并搬运已收容的基板。基板箱(1)，具有：下部箱单元(20)，在上面侧设有将基板的前后左右的缘部支承的基板支承部，在下面侧设有移动用脚轮(30)；以及上部箱单元(10)，从上方覆盖基板支承部所支承的基板并安装。脚轮(30)安装在框状区域，所述框状区域收容在内部的基板(2)的外形即第1四角形的内侧，且为将根据下部箱单元(20)的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。能以与基板尺寸对应的小型且简易的结构使收容的基板稳定地移动。

主权项

一种基板箱，其用于将对角尺寸超过2m的矩形平板状基板收容在内部并搬运所述基板，其特征在于，具有：下部箱，其在上面侧设有将所述基板的前后左右的缘部在板厚方向加以支承的基板支承部，在下面侧设有三个以上的移动用脚轮；以及上部箱，其从上方覆盖所述基板支承部所支承的所述基板，并且安装在所述下部箱；所述脚轮安装在框状区域，所述框状区域配置在俯视下所述基板支承部所支承的所述基板的外形即第1四角形的内侧，且为将根据俯视下的所述下部箱的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。