发明名称 | 具有双电极的超宽带换能器 | ||
摘要 | 本发明描述了宽带压电微机械超声换能器(pMUT),pMUT阵列以及具有宽带pMUT阵列的系统。例如,压电微机械超声换能器(pMUT)包括放置在衬底上的压电膜。参考电极被耦合至该膜。第一和第二驱动/感测电极被耦合至该膜以驱动或感测在膜中的第一和第二振动模式。 | ||
申请公布号 | CN104271264A | 申请公布日期 | 2015.01.07 |
申请号 | CN201380023320.2 | 申请日期 | 2013.04.19 |
申请人 | 富士胶片戴麦提克斯公司 | 发明人 | A·哈贾蒂 |
分类号 | B06B1/06(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I | 主分类号 | B06B1/06(2006.01)I |
代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 孙向民;肖冰滨 |
主权项 | 一种压电微机械超声换能器(pMUT),该pMUT包括:压电膜,该压电膜被放置在衬底上;参考电极,该参考电极被耦合至所述膜;以及第一和第二驱动/感测电极,该第一和第二驱动/感测电极被耦合至所述膜以驱动或感测在所述膜中的第一和第二振动模式。 | ||
地址 | 美国新罕布什尔州 |