一种多晶铸锭炉热场结构

摘要

本实用新型公开了一种多晶铸锭炉热场结构，涉及铸锭炉的热场结构设计和制造技术领域，具体包括炉体、隔热笼、加热器以及坩埚，坩埚四周外壁上固定有的支撑板，坩埚的底部设有热交换块，所述的支撑板侧壁四周包裹有侧部硬毡，侧部硬毡的最大厚度小于支撑板与加热器之间的间隙，侧部硬毡的纵向高度不超过硅锭高度的2/3，在侧部硬毡的底部设有硅液溢流口。改进后降低了坩埚四周与中心的温度差，平稳化料界面，使凸型化料界面变为平面，从而可以降低底部籽晶保留的高度的同时提高底部籽晶保留的面积，同时降低侧部的散热速率，使得四周的温度与中心的温度差减小，控制长晶界面呈平面形状，得到竖直生长的晶体生长方向。

主权项

一种多晶铸锭炉热场结构，包括炉体、设于炉体内的隔热笼（5）、加热器以及位于隔热笼（5）内的坩埚（4），其特征在于所述的坩埚（4）四周外壁上固定有的支撑板（7），坩埚（4）的底部设有热交换块（8），所述的支撑板（7）侧壁四周包裹有侧部硬毡（3），所述的侧部硬毡（3）的最大厚度小于支撑板（7）与加热器之间的间隙，侧部硬毡（3）的纵向高度不超过硅锭高度的2/3，在侧部硬毡（3）的底部设有硅液溢流口（9）。