模块化加热器系统

摘要

本发明提供了一种加热器系统，其包括混合式绝缘盖部，该绝缘盖部具有围绕铰接的承载构件和伴热节段设置的第一盖部、以及与第一盖部可操作地接合且适于围绕加热目标和其变化的几何形状可拆卸地设置的第二盖部。还设有具有与第二盖部相似结构的柔性绝缘护套以用于与连接器组件一起使用。另外，提供一种加热器系统，其包括至少一个伴热节段，该至少一个伴热节段被包覆在相邻的绝缘构件内以用于加热半导体加工系统的输气管线和泵吸管线。

主权项

一种加热器系统，所述加热器系统包括：多个铰接的承载构件，每一个铰接的承载构件都限定有内周表面、外接收部分、和端部分；多个伴热节段，所述多个伴热节段设置在所述铰接的承载构件的所述外接收部分内，所述伴热节段在所述多个铰接的承载构件的端部分的附近限定了端部分；端配件，所述端配件设置在所述铰接的承载构件的所述端部分和所述伴热节段的所述端部分的附近；混合式盖部，该混合式盖部包括：第一盖部，所述第一盖部围绕所述铰接的承载构件和所述伴热节段的至少一部分设置，并且紧固至所述端配件；以及第二盖部，所述第二盖部与所述第一盖部可操作地接合且能围绕所述铰接的承载构件和所述伴热节段的至少一部分可拆卸地设置，所述第一盖部是刚性的而所述第二盖部是柔性的。