具有使用多材料X 射线管阳极和单色光学装置产生的多激励能带的X射线分析器

摘要

X射线管包括靶，电子冲击在靶上以形成发散的X射线光束。该靶具有由第一和第二靶材料形成的表面，每种靶材料制造成发出对应的X射线能线图。第一X射线光学装置可设置用于朝向样品斑点引导该光束，该第一X射线光学装置使得发散的X射线光束从第一靶材料发出的能量单色化为第一能量；并且，第二X射线光学装置可设置用于朝向样品斑点引导该光束，该第二X射线光学装置使得发散的X射线光束从第二靶材料发出的能量单色化为第二能量。由第一和第二单色能量引起的样品斑点的荧光被用于测量样品中的至少一种元素的浓度，或者单独地测量涂层和底下的衬底中的元素。

主权项

一种用于X射线分析器的X射线管，包括靶，电子撞击到所述靶上以产生X射线，所述靶具有由至少两种靶材料形成的表面，每种靶材料在由所述电子撞击时发出相应的能线图。