| 发明名称 | 用于清洗衬底的方法 | ||
| 摘要 | 提供了一种用于清洗衬底的方法。在该方法中，提供了非牛顿流体流，其中至少部分流呈现栓塞流。为了从衬底表面去除颗粒，放置衬底表面与呈现栓塞流的流部分接触以使呈现栓塞流的流部分在衬底表面上移动。也描述了用于清洗衬底的另外的方法和装置。 | ||
| 申请公布号 | CN102688867B | 申请公布日期 | 2015.01.07 |
| 申请号 | CN201210164517.5 | 申请日期 | 2006.06.15 |
| 申请人 | 兰姆研究有限公司 | 发明人 | J·M·德拉里奥斯;M·拉夫金;J·法伯;M·科罗利克;F·C·雷德克尔 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I;B08B3/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 谭佐晞;杨国治 |
| 主权项 | 一种用于清洗衬底的方法，包括：以非牛顿流体填充腔室，该腔室具有输入端和输出端；在输入端将衬底引入到腔室中，并且将悬浮的衬底悬浮在非牛顿流体中；关闭到输入端的通道；以及迫使另外非牛顿流体进入腔室，从而非牛顿流体的流在衬底的表面移动并且非牛顿流体在输出端流出。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||