用于抛光铝酸锂晶体之抛光液组成物及其使用方法

摘要

一种用于抛光铝酸锂晶体之组成物，其包括0.5至50重量百分比(wt％)的奈米级磨粒；0.5至99.5重量百分比的保湿剂；10至1000ppm的分散剂；pH调整剂，用以使组成物达到pH=7至13；以及其余为水，以组成物之总重量为基准。