光伏电池用透明导电膜的生产方法

摘要

提供了一种光伏电池用透明导电薄膜的生产方法，包括如下步骤：(a)在热玻璃板的移动带上方设置两套化学气相反应器；(b)使得形成薄膜材料的反应性气态前驱物从所述两套化学气相反应器的入口进入；及(c)在具有一定温度的所述热玻璃表面发生沉积反应，从而得到氧化锡掺杂氟透明导电氧化物薄膜。通过第一化学气相反应器沉积的是中间屏蔽层，通过第二化学气相反应器沉积的是氟掺杂氧化锡透明导电层。根据本发明的生产方法工艺简单，采用合适的气态前驱物在移动的热玻璃表面沉积了氧化锡掺杂氟透明导电氧化物薄膜(FTO)，得到的FTO透明导电膜具有高透过率、高电导率以及自身绒面结构的特点，在非晶硅(a-Si:H)薄膜太阳能电池中应用极广。

主权项

一种光伏电池用透明导电薄膜的生产方法，其特征在于，包括如下步骤：(a)在热玻璃板的移动带上方设置两套化学气相反应器；(b)使得形成薄膜材料的反应性气态前驱物从所述两套化学气相反应器的入口进入；及(c)在具有一定温度的所述热玻璃表面发生沉积反应，从而得到氧化锡掺杂氟透明导电氧化物薄膜，其中，通过第一化学气相反应器沉积的是中间屏蔽层，通过第二化学气相反应器沉积的是氟掺杂氧化锡透明导电层。