具有反馈校正的光学探头

摘要

本发明涉及一种适于微型应用的光学探头(1)。范例应用是基于光纤的共焦微型显微镜。光学探头包括基于线圈的致动系统(9，10)，其包括能够使光学探头容纳(4)的光波导(2)的远端(3)发生位移的驱动线圈(9)。该探头利用了反馈环路，该反馈环路在两种模式之间交替：通过驱动电流通过驱动线圈来驱动光波导发生位移，以及切断通过驱动线圈的电流，在切断驱动电流时，测量光波导的远端的速度。将测量的速度与设定点速度比较，如果探测到差值，调节驱动电流以消除或至少降低这种差值。

主权项

一种光学探头(1，20)，所述探头包括：具有远端(3)的光波导(2，25)；外壳(4，22)，所述光波导安装在所述外壳内部，使得所述远端能够相对于所述外壳发生位移；以及包括驱动线圈(9，23)的基于线圈的致动系统(9，10，21，23)，所述致动系统能够通过将驱动电流驱动通过所述驱动线圈诱发的位移力使所述远端发生位移；其中：所述驱动电流由具有反馈环路的驱动电路来调节，所述反馈环路包括：‑用于生成位置设定点的模块；‑向所述驱动线圈施加所述驱动电流的模块；‑暂时切断所述驱动电流的模块；‑适于测量所述远端的速度的测量电路，其中通过在切断所述驱动电流的同时测量所述驱动线圈(23)两端的电压(26)来测量所述远端的速度；以及‑通过如下任一种方式比较所述位置设定点和所测量的速度的模块‑从所述位置设定点导出设定点速度，并且比较所述设定点速度和所测量的速度以导出差值；或‑从所测量的速度导出测量的位置，并且比较所述位置设定点和所测量的位置以导出差值，如果所述差值高于预设水平，由此调节所述驱动电流。