发明名称 |
一种用于曝光的新型光刻板夹具 |
摘要 |
本实用新型涉及一种用于曝光的新型光刻板夹具,它包括有金属框架、中空管、玻璃板、压条、固定螺钉,所述金属框架的本体内设有环绕框架的通道,金属框架的下横档设有供安装中空管的连接口、连接口与通道贯通,金属框架的本体的背侧端面设有与所述通道对应的凹槽,凹槽底部设有若干小孔与通道相连,金属框架的背侧端面内框设有供安装玻璃板的台阶,金属框架的上横档设有供安装压条的螺孔,所述中空管固定在金属框架的下横档上,玻璃板镶嵌在金属框架的台阶上,玻璃板与金属框架的背侧端面齐平,压条通过螺钉固定在金属框架上横档上。本实用新型优点:本产品既避免了自动曝光机进、出片浪费的时间,又简化了生产设备,为大批量生产提供了帮助。 |
申请公布号 |
CN204086812U |
申请公布日期 |
2015.01.07 |
申请号 |
CN201420537941.4 |
申请日期 |
2014.09.18 |
申请人 |
上海美高森美半导体有限公司 |
发明人 |
查达其;冯亚宁;袁德成;张意远 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海京沪专利代理事务所(普通合伙) 31235 |
代理人 |
周志宏 |
主权项 |
一种用于曝光的新型光刻板夹具,其特征在于,它包括有金属框架、中空管、玻璃板、压条、固定螺钉,所述金属框架的本体内设有环绕框架的通道,金属框架的下横档设有供安装中空管的连接口、连接口与通道贯通,金属框架的本体的背侧端面设有与所述通道对应的凹槽,凹槽底部设有若干小孔与通道相连,金属框架的背侧端面内框设有供安装玻璃板的台阶,金属框架的上横档设有供安装压条的螺孔,所述中空管固定在金属框架的下横档上,玻璃板镶嵌在金属框架的台阶上,玻璃板与金属框架的背侧端面齐平,压条通过螺钉固定在金属框架上横档上。 |
地址 |
201108 上海市闵行区莘庄工业区申南路203号 |