发明名称 微小凹凸欠陥検査機用の簡易テレセントリックレンズ装置
摘要
申请公布号 JP5647716(B2) 申请公布日期 2015.01.07
申请号 JP20130153215 申请日期 2013.07.24
申请人 发明人
分类号 G01N21/958;G01N21/84 主分类号 G01N21/958
代理机构 代理人
主权项
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