| 发明名称 | 一种机械强度增强的多孔SiO<sub>2</sub>:F薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种机械强度增强的多孔SiO<sub>2</sub>:F薄膜的制备方法，采用溶胶-凝胶结合旋涂工艺制备多孔SiO<sub>2</sub>:F薄膜，以正硅酸乙酯(tetraethylorthosilicate，TEOS)为前驱体，四氢呋喃(THF)为溶剂，碳纳米管(CNTs)和氢氟酸(HF)为掺杂剂制备了多孔SiO<sub>2</sub>:F薄膜。高机械强度的CNTs掺入可以提高薄膜的硬度和弹性模量。 | ||
| 申请公布号 | CN104269345A | 申请公布日期 | 2015.01.07 |
| 申请号 | CN201410454863.6 | 申请日期 | 2014.09.09 |
| 申请人 | 重庆理工大学 | 发明人 | 刘雪芹;何孝金 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;B05D1/28(2006.01)I;B05D3/00(2006.01)I;C01B31/02(2006.01)I;C01B33/12(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 一种机械强度增强的多孔SiO<sub>2</sub>:F薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一，溶胶配制：把0.08‑0.12mg的CNTs放在15‑30mlTHF(四氢呋喃)溶剂中，超声2‑5h，得到处理好后的含CNTs溶剂；把正硅酸乙酯、含CNTs溶剂、水、HF酸以1‑2:5‑7:1‑4:0.02摩尔比混合，在室温下用磁力搅拌器搅拌8‑10小时，让TEOS充分水解，得到均匀的溶胶，步骤二，旋涂制膜：当溶胶粘度系数达到10cp左右时，在1cm×1cm的清洗过的硅片上旋转涂敷制膜，溶胶旋涂转速为3000rpm，旋涂时间为30s，步骤三，后期热处理：在Ar气氛中退火2‑5h，退火温度为400‑480℃，获得多孔SiO<sub>2</sub>:F薄膜，制备的含CNTs多孔SiO<sub>2</sub>:F薄膜中CNTs的含量大约为10<sup>‑5</sup>(质量分数)级。 | ||
| 地址 | 400054 重庆市巴南区红光大道69号 | ||