正型光阻组成物、其涂膜及酚醛型酚树脂

摘要

明的目的在于提供一种显像性及耐热性优异的正型光阻组成物以及使用其之涂膜，为了达成此目的，本发明提供一种正型光阻组成物，其相对于甲酚酚醛树脂(A)100质量份，系含有3~80质量份的酚醛型酚树脂(B)，其中上述酚醛型酚树脂(B)具有下述式(1)所表示的结构单位作为重复单位，

[式中，R为氢原子或碳原子数1~12的烃基，X为下述式(2)所表示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)，

(式中，R1、R2、R3各自独立地为氢原子、碳原子数1~8的烷基，m及n各自独立地为1~4的整数，p为0~4的整数，t为1或2)]，相对于上述结构(x1)与结构(x2)的总数的上述结构(x1)的含量百分比为85%以上。

主权项

一种正型光阻组成物，其相对于甲酚酚醛树脂(A)100质量份，系含有3~80质量份的酚醛型酚树脂(B)，其特征在于该酚醛型酚树脂(B)具有下述式(1)所表示的结构单位作为重复单位，

[式中，R为氢原子或碳原子数1~12的烃基，X为下述式(2)所表示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)，

(式中，R1、R2、R3各自独立地为氢原子、碳原子数1~8的烷基，m及n各自独立地为1~4的整数，p为0~4的整数，t为1或2)]，相对于上述结构(x1)与结构(x2)的总数，该结构(x1)的含量百分比为85%以上。