一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置

摘要

该发明一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，涉及电子技术领域，具体涉及一种测量扫描电镜电子束电流的测量装置。该装置包括：一个带有栅网的法拉第杯、贯穿有两个电极的扫描电子显微镜的样品室隔板、高灵敏度的电流表，各部分之间采用镀有陶瓷的导线连接；首先连接好电路后，将样品室隔板安装于样品室上，保证样品室密闭性；扫描电子显微镜发射的电子束入射到法拉第杯内，法拉第杯吸收电子，电流通过镀有陶瓷的导线经过样品室隔板的电极流到高敏度的电流表，通过电流表测出电流的大小，从而实现发明目的。具有作简单、方便，能够用于精确测量扫描电子显微镜电子束电流的效果。

主权项

一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，该装置包括：设置于扫描电子显微镜样品室内的法拉第杯，贯穿有两个电极的扫描电子显微镜样品室隔板，高灵敏度电流表，法拉第杯与样品室隔板上的电极通过镀有陶瓷的导线连接，样品室隔板上的电极与电流表通过镀有陶瓷的导线连接。