一种大尺寸方形蓝宝石晶体生长方法

摘要

本发明涉及一种大尺寸方形蓝宝石晶体的生长方法，晶体最大边长达320mm×320mm。采用99.999wt%的高纯氧化铝，放置在钨坩埚内，安装钨加热器及钨钼保温材料，钨钼保温材料形状为方形，加热器为方形，坩埚为方形。本发明生长方形蓝宝石晶锭，提高了材料利用率，如100Kg级蓝宝石晶锭掏取苹果5S机型屏幕用方形晶棒，材料利用率可达60%～70%，降低生产成本达20%～30%。

主权项

一种大尺寸方形蓝宝石晶体生长方法，采用99.999wt%的高纯氧化铝，放置在钨坩埚内，安装钨加热器及钨钼保温材料，安装好测温热电偶，封闭炉腔并装好摄像头，启动监视器及记录仪，在自动控制程序中设置加热程序，抽真空，真空度达到10^‑4Pa，升温速率为200℃/h；升温对氧化铝原料进行熔化，借助于红外测温仪，将液面温度控制在2050℃～2070℃之间，液面对流线清晰均匀，并达到稳定状态；将籽晶缓慢下降，Touch液面；快速提拉生长颈部；缓慢提拉生长肩部；微提拉生长等径部，至长晶完成；进行降温，取出晶体；将晶体加工成片，使用KOH腐蚀，采用X射线TOPO GRAPHY、显微镜、扫描电镜和分光光度计测试晶体的位错密度、透光性及单晶性；其特征在于：所述的钨钼保温材料形状为方形，加热器为方形，坩埚为方形。