一种薄膜衰减片的制作方法

摘要

本发明提出了一种薄膜衰减片的制作方法，包括以下步骤：采用真空溅射的方法实现介质基材表面金属化；采用光刻工艺形成衰减片图形；电镀高纯软金，加厚导体电路；通过加热的办法对整片衰减片电路进行热氧化调阻；使用光刻胶在衰减片的抗击打部位定义出电镀图形区域；在定义图形区域电镀金钴合金；使用砂轮划切的方法分割成独立的衰减片图形。本发明薄膜衰减片的制作方法，将电镀软金与电镀硬金相结合，大幅度提高了其抗击打能力；这种方法可靠性好，加工效率高，利于批量生产，值得在生产中推广。

主权项

一种薄膜衰减片的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤(101)，采用真空溅射的方法实现介质基材表面金属化；步骤(102)，采用光刻工艺形成衰减片图形；步骤(103)，电镀高纯软金，加厚导体电路；步骤(104)，通过加热的办法对整片衰减片电路进行热氧化调阻；步骤(105)，使用光刻胶在衰减片的抗击打部位定义出电镀图形区域；步骤(106)，在定义图形区域电镀金钴合金；步骤(107)，使用砂轮划切的方法分割成独立的衰减片图形。