基于高空间分辨率测量材料应变的系统及方法

摘要

提供一种测量应变的方法，包括将一种材料的一个样品放入一个透射式电子显微镜作为一个样本。该透射式电子显微镜通电，产生一个相对该样本具有一入射角的小型电子射束。控制透射式电子显微镜的数个射束偏转线圈和图像偏转线圈的电信号被生成。射束偏转控制信号引起入射射束的角度按时间依赖性循环(cyclic time-dependent)的方式变换。来自样本材料的第一衍射图被观察到，其显示动态衍射效应，然后射束偏转线圈控制信号中的一个或多个被调整用以减少动态衍射效应。之后图像偏转线圈控制信号中的一个或多个被调整用以除去衍射图的任何运动。在调整步骤后，从材料的应变区采集一个衍射图，然后，应变由应变的衍射图和来自材料的非应变区域的参考衍射图进行比较的数值分析确定。

主权项

一种在晶体材料中测量应变的方法，包括：将一种材料的一个样品放入一个透射式电子显微镜作为一个样本，和将透射式电子显微镜通电来产生一个相对该材料具有一入射角的电子射束；和产生电子射束偏转线圈控制信号，控制透射式电子显微镜的数个射束偏转线圈；和产生电子图像偏转线圈控制信号，控制透射式电子显微镜的数个图像偏转线圈；观察来自具有动态衍射效应的材料的一张第一衍射图；调整所述的射束偏转线圈控制信号中的至少一个来减少所述的动态衍射效应；调整所述的图像偏转线圈控制信号中的至少一个来停止由所述的射束偏转线圈控制信号引起的衍射图的运动；在上个调整步骤后，从所述的材料的一个具有已知应变的区域采集一张第二衍射图；从所述材料的一个未知应变的区域采集一张第三衍射图。