发明名称 一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆及生长方法
摘要 本发明涉及晶体生长技术领域,尤其涉及一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆,该籽晶杆包括柔性段,在所述柔性段上端与所述柔性段相连的刚性段,以及所述柔性段下端的籽晶夹头。本发明还提供了一种大尺寸LBO晶体的生长方法,采用本发明提供的籽晶杆固定籽晶进行晶体的生长。本发明提供的籽晶杆结构简单、制造简便、成本较低;本发明提供的生长方法可以在晶体生长结束后,有效避免籽晶折断而造成晶体脱落,有利于提高晶体生长成功率。
申请公布号 CN104264225A 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201410454162.2 申请日期 2014.09.05
申请人 中国科学院理化技术研究所 发明人 涂衡;胡章贵;赵营;岳银超
分类号 C30B29/22(2006.01)I;C30B15/32(2006.01)I 主分类号 C30B29/22(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 郝瑞刚
主权项 一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆,其特征在于,包括柔性段,在所述柔性段上端与所述柔性段相连的刚性段,以及所述柔性段下端的籽晶夹头。
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