发明名称 |
一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆及生长方法 |
摘要 |
本发明涉及晶体生长技术领域,尤其涉及一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆,该籽晶杆包括柔性段,在所述柔性段上端与所述柔性段相连的刚性段,以及所述柔性段下端的籽晶夹头。本发明还提供了一种大尺寸LBO晶体的生长方法,采用本发明提供的籽晶杆固定籽晶进行晶体的生长。本发明提供的籽晶杆结构简单、制造简便、成本较低;本发明提供的生长方法可以在晶体生长结束后,有效避免籽晶折断而造成晶体脱落,有利于提高晶体生长成功率。 |
申请公布号 |
CN104264225A |
申请公布日期 |
2015.01.07 |
申请号 |
CN201410454162.2 |
申请日期 |
2014.09.05 |
申请人 |
中国科学院理化技术研究所 |
发明人 |
涂衡;胡章贵;赵营;岳银超 |
分类号 |
C30B29/22(2006.01)I;C30B15/32(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/22(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
郝瑞刚 |
主权项 |
一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆,其特征在于,包括柔性段,在所述柔性段上端与所述柔性段相连的刚性段,以及所述柔性段下端的籽晶夹头。 |
地址 |
100190 北京市海淀区中关村东路29号 |